真空産業紹介
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- 真空産業とは
- 宇宙産業から食品の乾燥まで、またIC（集積回路）からレンズのコーティングまで、その利用分野は広範囲に及ぶ。
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- 薄膜とは
真空チャンバ- 現在、さまざまな産業において、1μm未満の薄い膜が利用されています。材料を削ったり、叩いたり、延ばしたりして作るには限界がありそうです。薄い膜を作る方法はたくさんあり、新しい方法が開発されています。このような膜を作るときは、一度材料を原子・分子の状態にまでバラバラにして、原子・分子を飛ばすか降り積もらせる、ということをします。材料をバラバラにする方法は右図の方法以外にもいろいろあります。そのなかで『真空蒸着法』という方法をご紹介します。名前のとおり「真空中で材料を蒸発させて対象物に付ける」というものです。私たちが毎日見ている鏡もこのような方法で作られています。真空容器の中で材料を加熱し材料を蒸発させます。真空にするのは、不純物が入り込んだり酸化したりして材料が変質してしまうからです。対象物に到着した気体は冷却され固体となり薄膜になります。真空蒸着法の長所は、膜の厚さのコントロールができ望みの厚さの膜を作ることができます。1μm未満の膜でも金属は金属、絶縁物は絶縁物の性質のままです。その薄い膜を利用して高密度の電子回路システムなどが作られています。
- 金属などを溶液に溶かし、材料の表面に析出させる方法は「ウエットメッキ」といい、対して真空蒸着は「ドライメッキ」と言われています。それぞれ長所・短所があり、いずれも工業的に広く用いられています。
