製品紹介
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- Free Chamber Order System
- About Free Chamber Order System
- Free Chamber Order System は、いちよしエンジが蓄積した、数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された真空チャンバ設計システムです。
- いちよしエンジが保有している、数々のテクニカルソースを組み合わせる事により、従来の新規設計品に比べ、安価且つ短納期でのご提供を可能にします。
- Equipment For Free Chamber Order System
制作事例「実験用CVD装置」-
- 排気系
- ロータリポンプ
- ターボ分子ポンプ
- 油拡散ポンプ
- クライオポンプ
- コンダクタンス自動調整システム
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- 成膜源
- スパッタリングカソード
- 電子ビーム蒸発源
- 各種ヒータ類
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- その他機構
- 試料ステージ回転上下機構（自動・手動）
- シャッタ機構付覗窓
- オプションフランジ（JIS/ICF/etc.）
- その他オプションも、数多く取り揃えております。
お気軽にお問い合わせ下さい。 - お見積もりのご依頼は下記お見積もり依頼書をダウンロードし、ご記入の上、弊社までFAX下さい。
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- 装置製作の流れ
